二氧化硅拋光液在拋光過程中會出現結晶并結塊，雖然問題不大，但如果處理不當，工件表面很可能會被劃傷甚至報廢。那么我們該如何解決二氧化硅拋光液結晶問題呢？

首先，我們應該了解硅溶膠拋光液的性質和屬性。二氧化硅拋光液是一種由高純度硅粉經水解離子、交換工藝制成的高純度低金屬離子產品。在含水環(huán)境中，容易形成離子網絡結構。一旦水被分離，表面很快凝結成晶體塊。所以只要保持水分，基本上不會發(fā)生結晶。在實際的CMP拋光過程中，硅溶膠拋光溶液會一直在研磨板上旋轉和流動，結晶較少。

因此，氧化硅拋光液的儲存環(huán)境應在5-30℃之間，放置在陰涼避光的地方，而且拋光工作完成后，需要及時清潔光盤表面和拋光墊，這樣不容易在拋光墊和機床臺面上留下二氧化硅晶體。

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